愛德華螺桿干式泵由于其*的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問題
愛德華螺桿干式泵是一種容積泵，應(yīng)用一對螺桿轉(zhuǎn)子在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用，主要應(yīng)用于高純潔的真空工藝過程，真空度*，可順應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的才能，特別適用于電子、化工、生物醫(yī)藥、金屬加工、食品加工等范疇。
愛德華螺桿干式泵工作時，由于兩個轉(zhuǎn)子相對高速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間必需留有一定的間隙以免發(fā)作摩擦。而螺桿真空泵在運(yùn)用過程中，排氣溫度十分高，這也招致了螺桿真空泵的溫度十分高，形成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間的間隙會產(chǎn)生變化，影響抽氣效果，嚴(yán)重的會使其發(fā)作摩擦，最后燒結(jié)卡殼。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，愛德華螺桿干式泵具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1、螺桿轉(zhuǎn)子與螺桿轉(zhuǎn)子之間以及螺桿轉(zhuǎn)子與殼體之間的間隙沿進(jìn)氣端到排氣端的方向依次減小，使螺桿轉(zhuǎn)子穩(wěn)定工作后有足夠的收縮空間，防止螺桿轉(zhuǎn)子卡殼，而且收縮后它們的間隙更小，氣體的走漏量更少，抽真空效果更好。
2、螺桿轉(zhuǎn)子采用螺紋小徑均相同，螺紋大徑沿進(jìn)氣端到排氣端方向依次減小的設(shè)計，既降低了螺桿轉(zhuǎn)子的加工難度，降低了消費(fèi)本錢，而且在穩(wěn)定工作時，螺桿轉(zhuǎn)子之間的間隙更小更平均，減少了氣體走漏。
